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  • 적외선램프가열장치 RTP-mini
    Infrared lamp heating system 소형 칩, 2, 4, 6인치까지의 박판 웨이퍼의 고속가열 전용 프로그램 소프트웨어로 온도 레시피를 간편입력
  • 적외선램프어닐링장치 RTA시리즈
    2inch 에서 300mm까지의 고속 열처리. 유지까지 10초. 고속 가열 기술을 결집하여 연구 개발부터 생산용까지 고객의 요구에 부응하는 장비를 제공합니다. 최대 온도 1450℃의 고온 분위기에서 가열 가능합니다.
  • 분위기가변형 램프가열장치 VHC시리즈
    태양 전지에서 화합물 반도체 등의 공정 개발에 적합합니다. VHC 시리즈는 QHC 시리즈 기능과 더불어 진공배기시스템 및 피라니 진공계를 갖추고 있습니다. 가열조작을 컴퓨터에서 편리하게 데이터를 관리할 수 있습니다. 고객의 요구에 맞게 개조 가능합니다.
  • 탁상형램프가열장치 MILA-700AR
    냉각수를 사용하지 않는 탁상형 램프가열장치. 냉각은 공랭식 팬 채택으로 콘센트만 있으면 즉시 가열할 수 있습니다.
  • 초고진공 탁상형 램프가열장치 MILA-5000UHV
    컴팩트하면서 고진공 대응이 가능합니다. MILA-5000-PN을 기반으로 고속 가열 · 고속 냉각, 온도의 정밀 제어, 크린 가열, 각종 분위기 선택 등 ​MILA-5000 시리즈의 특징뿐만 아니라 초고진공 대응을 컨셉으로 탄생했습니다. 가열 작업을 PC에서 간편하게 데이터 관리 할 수 있습니다.
  • 프로그램온도제어기 TPC-5000시리즈
    고속 가열에 정밀하게 대응 가능한 온도 조절기. 고속 승온시의 빠른 응답이 요구되는 적외선 골드 이미지로는 물론, 저속 승온로용에도 대응할수 있는 프로그램 온도 제어기입니다. 고기능 · 고성능 컴팩트한 패키지로 다양한 액세서리를 갖추고 있습니다.​
  • 생산용 열처리로 (라인 설비)
    열처리 목적에 맞는 가열 시스템 형성 이 장치는 부재의 형상과 공정상의 열처리 목적에 따라 가열로 및 가열 시스템이 형성됩니다. 고속가열·고속 냉각, 클린 가열을 최대한 활용하여 무공해 · 에너지절약 · 고성능화에 최적의 가열로를 제공합니다.
  • 적외선골드이미지로 Ps, Pss시리즈
    탄소나노튜브의 생산 설비와 생산 장비까지 다양한 분야에서 사용할 수 있습니다. 평판 면상 방사형 적외선 가열로는 φ 2in ~ φ 300mm까지 웨이퍼용 어닐링 시스템과 생산용 소성로 등에 이용할 수 있습니다.
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